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半導(dǎo)體行業(yè)的高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 85 /86 系列壓力傳感器進(jìn)行精確測量
專欄：技術(shù)支持
發(fā)布日期：2022-06-11
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在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中，采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器，使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定，并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定，基本消除了較大的流量控制偏差。
 半導(dǎo)體行業(yè)MOCVD工藝或者LCD濺射CVD工藝中，精確的氣體分配和氣體質(zhì)量流量控制都是十分關(guān)鍵的技術(shù)。 Key Physical Parameters in Semiconductor  分 配 氣體質(zhì)量流量控制 控制的關(guān)鍵點之一是控制分配閥前端管道的壓力值保持穩(wěn)定。 實際使用過程中，任一管道流量的突然變化都會對其他管道產(chǎn)生壓力波動影響，從而影響流量控制結(jié)果。此情景類似于在用熱水器洗澡的時候，旁邊的水龍頭被打開了，你第一時間就感受到了壓力變化，甚至有些時候溫度變化，你會記憶更深刻些。而在MOCVD工藝以及其他類似應(yīng)用工藝中，這些氣體質(zhì)量流量變化必須控制一定的范圍內(nèi)，以免產(chǎn)生過大的廢品率。  壓 力 自動壓力調(diào)節(jié)控制 壓力自動調(diào)節(jié)閥 于是，采用一個響應(yīng)快速，精確控制的自動壓力調(diào)節(jié)閥就成了最佳選擇。 上圖中采用UR高速自動壓力調(diào)節(jié)閥和傳統(tǒng)的壓力控制方式，可以很明顯地看到壓力控制區(qū)別以及后續(xù)氣體質(zhì)量流量控制效果。 黑色爬坡下坡實線為主管道初級壓力波動曲線，淺藍(lán)色實線為控制后的次級壓力波動曲線，黑色波浪線為氣體質(zhì)量流量控制器輸出的實際流量波動曲線。在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中，采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器，使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定，并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定，基本消除了較大的流量控制偏差。 壓 力 測 量 高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 進(jìn)行壓力測量 采用模擬信號輸出的緊湊型85/86系列壓力晶圓 快速準(zhǔn)確的壓力測量為高速準(zhǔn)確的壓力自動調(diào)節(jié)提供穩(wěn)定信號支持。
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